高平稳性气浮平台，平面度0.5um,可做精密定位，移动等，用于超高精度机械系统

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发布时间: 2014-9-22 17:34

1 专为有效负载大,负载重心偏离机架中心线的应用设计 2 十字交叉结构,刚性稳定性引人注目,几何特性极好 3 所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承); 4 行程达1米 5 直线编码器或激光干涉仪反馈 6 可集成包括花 ...

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