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高平稳性气浮平台,平面度0.5um,可做精密定位,移动等,用于超高精度机械系统

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发表于 2014-9-22 17:34:15 | 只看该作者 |只看大图 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式
1 专为有效负载大,负载重心偏离机架中心线的应用设计
2 十字交叉结构,刚性稳定性引人注目,几何特性极好
3 所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承);
4 行程达1米
5 直线编码器或激光干涉仪反馈
6 可集成包括花岗岩的XY子系统
    ABL8000 系列平台为高性能应用而设计,适合前沿制造领域,尤其是半导体和数据存储工业。他们所要求的定位误差超出传统以滚珠丝杠和机械轴承为基础的运动系统的能力。
    气浮导轨(空气轴承)设计,在水平和垂直表面都主动预加负载,保证反向气体薄膜压力保持在正常气隙允许的范围内。这样设计,增加到大气浮导轨表面,使负载在大区域内分布载荷,使得平台具有独特的刚性,对于有效负载大,负载重心偏离机架中心线的应用非常理想。   
独有的制造技术使平台具有非常卓越的几何特性,气浮导轨固有的拉平效应使性能最大化。薄膜填充细小表面无用的和允许的其他不规则。这个特性创造了超好的倾斜,滚摆,偏转,直线度和平面度指标。
直线电机驱动 使用Aerotech的 BLM无刷直线电机驱动。 Aerotech 作为电机的制造商,具有悠久历史和丰富经验。BLM使用无铁心推力,意味着无嵌齿效应和无吸力,能产生非常卓越的运动平稳性,产生大推力和高速度。体现出根本的功率和性能的组合。
零维护 我们完整的非接触气浮导轨,非接触直线电机驱动,非接触反馈装置确保在高性能水平上数年免维护运转。因为运动零件之间无机械接触,所以ABL8000在全部时间内无磨损,性能无降低。服务寿命实际上是无限的,因无需润滑,只需要干净的干燥的空气,气浮导轨是洁净室和医疗应用的理想选择。
电缆管理 我们小心地优化电线的弯曲半径以保证数年无故障运行,万一失效,Aerotech的模块式设计使电线的更换快速而容易,使停工期最短。
  为了便于集成到最终系统,我们包括所有客户要求的电缆、气管等,我们的CMS 束,两端都全部带连接器以简化系统集成到客户的机器中。
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